日本音響学会アコースティックイメージング研究会
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第5回 2010年 2月 24日開催 <アコースティックイメージング研究会資料>
AI-2009-30
弾性表面波研究からラム波研究への道 【PDF/動画:】
中川 恭彦
山梨大学 工学部
抄録
弾性表面波の非線形現象に関する研究に入ったのが今から約40 年前でした.爾来,筆者は弾性表面波の非線形現象に関する研究に従事し,10 種の非線形現象を解明した.さらに,新しい強誘電強弾性体であるTa2O5圧電性薄膜を発見した。その後,リニア型高速熱処理法の確立,SAW アシストによる薄膜位相格子の作成などを経て,超高安定周波数温度特性のラム波型弾性波素子基板の発見を行った.弾性表面波研究からラム波研究にいたる過程で研究上得た経験や研究に対する考え方などについて持論を述べる.
keywords
弾性表面波,非線形現象,圧電性薄膜,ラム波,超高安定周波数温度特性,ラム波共振子

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